Bulk mikro

FONT SIZE:
fontsize_dec
fontsize_inc
Februar 8, 2016 Henry Paus B 0 0

Bulk mikro er en proces, der anvendes til at fremstille micromachinery eller mikroelektromekaniske systemer.

I modsætning til overfladen mikrobearbejdning, som anvender en række af tynde film deposition og selektiv ætsning, bulk-mikro definerer strukturer ved selektivt ætsning i en substrat. Henviser overfladen mikrobearbejdning skaber strukturer oven på et substrat, bulk-mikro producerer strukturer inde i en substrat.

Normalt er siliciumskiver anvendes som substrater for bulk mikro, da de kan være anisotropt våd ætset, danner meget regelmæssige strukturer. Vådætsning typisk bruger alkaliske flydende opløsningsmidler, såsom kaliumhydroxid eller tetramethylammoniumhydroxid at opløse silicium, som er blevet efterladt udsat af fotolitografi maskering trin. Disse alkaliske opløsningsmidler opløse silicium i en yderst anisotropisk måde med nogle krystallografiske orienteringer opløse op til 1000 gange hurtigere end andre. En sådan fremgangsmåde bruges ofte med meget specifikke krystallografiske orienteringer i den rå silicium til at producere V-formede riller. Overfladen af ​​disse riller kan være atomically glat, hvis ætsning udføres korrekt, og dimensionerne og vinkler kan defineres præcist.

Bulk mikro starter med en siliciumskive eller andre substrater, der er selektivt ætset, ved hjælp af fotolitografi at overføre et mønster fra en maske til overfladen. Lignende overflade mikrobearbejdning, kan hovedparten mikro udføres med våde eller tørre ætser, selv om den mest almindelige etch i silicium er anisotropisk ætsning våde. Denne ætsning drager fordel af, at silicium har en krystalstruktur, hvilket betyder, at dens atomer er alle arrangeret regelmæssigt i linier og flader. Visse planer har svagere bindinger og er mere modtagelige for ætsning. Ætsningen resulterer i miner, der har vinklede vægge, med vinklen er en funktion af krystal orienteringen af ​​substratet. Denne type ætsning er billig og er almindeligt anvendt i begyndelsen, lav-budget forskning.

  0   0
Forrige artikel Age of Chivalry

Kommentarer - 0

Ingen kommentar

Tilføj en kommentar

smile smile smile smile smile smile smile smile
smile smile smile smile smile smile smile smile
smile smile smile smile smile smile smile smile
smile smile smile smile
Tegn tilbage: 3000
captcha